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真空机械手系列产品

Vacuum Manipulator Series

 

      真空机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责真空端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。单轴真空机械手可实现伸展运动；双轴真空机械手可实现伸展和旋转运动。产品具有碰撞检测和自我保护功能；模块化设计，可根据客户需求定制，具有高兼容性和高拓展性，可满足对设备升级的要求。