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半导体专用温控设备

CHILLER

半导体专用温控设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

产品特点

半导体专用温控设备系列产品