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晶圆传片设备系列产品

晶圆传片设备

SORTER

晶圆传片设备(Sorter)是集成电路制造过程中不可或缺的设备之一,主要由洁净大气机械手、晶圆载物台Load Port)、晶圆对准器(Aligner)、视觉系统、控制系统和超洁净运行空间组成，可以执行分批\合批\排序\倒片等传片、读取Wafer ID、对齐Notch 口、读 \写 FOUP ID、晶圆翻转等任务组合，可接入工厂的自动化系统与天车、Stocker 对接实现全自动化运行。