半导体专用温控装置-CHILLER

半导体专用温控机（Chiller）是对半导体制程进行温度控制的专用设备,包含热交换器、循环泵、压缩机和控制系统。它利用热交换原理将经过精确温控的循环液提供给用户设备的工艺腔，以维持工作单元稳定可靠的温控环境。能够控制循环介质在设定值±0.3℃范围内，以满足半导体设备或液晶面板生产设备对工艺温度的高精度控制要求。

产品优势：

• 加载情况下控温精度优于±0.3℃，可在-20℃～90℃任意工况切换，具有良好的温度跟随性；

• 采用先进的节能技术，利用变频器实现压缩机和水泵的节能减耗；

• 设备具有故障、性能自诊断功能，并可实现远程诊断及维修；

• 先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发；

• 符合SEMI标准和CE标准，可根据客户需求定制产品。

应用领域：

• 半导体芯片制造领域 

• 医疗器械及材料领域

• 分析仪器领域

• 食品制造领域

• 精密制造领域

• 3D打印领域

产品图片：

Model	Y-3010SH	B-320SH	B-850TC
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