Local scrubber

Local scrubber广泛应用于处理工业生产中产业的废毒气体，主要由燃烧腔室、循环系统、安全检测系统和控制系统构成的一个自我平衡的处理装置，属于半导体生产过程中关键的尾气处理辅助设备。

ECOSYS local scrubber由ATMI公司成立于1984年，属于世界上第一台尾气处理装置。

Marathon 系列（燃烧-水洗式，适用于PFC/CVD/ETCH/DIFF)

CDO 系列(电热-水洗式，适用于CVD/ETCH/DIFF)

Vector系列(水洗式，适用于ETCH/DIFF)

Guardian系列: 燃烧式 GS4 (落地式或悬挂式), GS8 (仅落地式)