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电加热水洗式产品系列 Thermal Wet Type

型号：Kylin TW系列

 

 

适用制程

· 适用于半导体制程（CVD/PVD/DIFF）

 

 

 

全新系统设计

· 采用水洗-加热-水洗的三位一体处理结构设计，延长设备维护周期

· 多模块选配-自动旁通阀模块、腔体粉尘自清洁模块、循环水冷却模块

 

 

 

电加热反应腔

· 可调节的加热温度区间提高了控制废气处理温度的灵活性

· 独立的加热棒设计提高热效率，并易更换

· "Top-Down"结构预防粉尘堆积

 

 

 

可维护性、安全性增强

· 设备各部件模块化设计便于设备维护

· PLC设计完备的安全互锁系统保证设备安全稳定运行

 

 

 

高利用效率

· 高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体

· 较小的占地面积

 

 

 

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