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双腔燃烧水洗式产品系列 Burn Wet Type-Dual System
型号:Kylin DB系列
适用制程
· 适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF),以及光伏、面板、LED行业
全新系统设计
· 采用燃烧水洗式双腔设计,2+2 or 3+3 inlet可支持多个工艺腔体连接。双腔功能,单腔切换,独立工作,相互之间无影响
· 气体处理量400+400slm/800+800slm,CDA与O2版本满足不同气体处理量需求
燃烧反应腔
· 可自身/双机互备,提供更多互备方案选择,实现资源利用最大化
· 支持Process Mode/Idle Mode多个模式可选,降低能耗
可维护性、安全性增强
· 部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装
· PLC安全互锁系统,烟感、漏液侦测等传感器的使用,保证设备安全运行
高利用效率
· 高流量以及多进口设计,可以连接多个工艺腔体
· 较小的占地面积
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