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双腔燃烧水洗式产品系列 Burn Wet Type-Dual System

型号：Kylin DB系列

 

 

适用制程

· 适用于半导体制程（CVD/PVD/ETCH/DIFF），以及光伏、面板、LED行业

 

 

 

全新系统设计

· 采用燃烧水洗式双腔设计，2+2 or 3+3 inlet可支持多个工艺腔体连接。双腔功能，单腔切换，独立工作，相互之间无影响

· 气体处理量400+400slm/800+800slm，CDA与O2版本满足不同气体处理量需求

 

 

 

燃烧反应腔

· 可自身/双机互备，提供更多互备方案选择，实现资源利用最大化

· 支持Process Mode/Idle Mode多个模式可选，降低能耗

 

 

 

可维护性、安全性增强

· 部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装

· PLC安全互锁系统，烟感、漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行

 

 

 

高利用效率

· 高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体

· 较小的占地面积

 

 

 

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