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单腔燃烧水洗式产品系列 Burn Wet Type-Single System

型号：Kylin BW系列

 

 

适用制程

· 适用于半导体制程（CVD/PVD/ETCH/DIFF），以及光伏、面板、LED行业

 

 

 

全新系统设计

· 采用燃烧水洗式结构设计，多进口可支持多个工艺腔体连接

· 气体处理量400slm/800slm，CDA与O2版本满足不同气体处理量需求

 

 

 

燃烧反应腔

· 火焰系统防风设计保证火焰燃烧稳定

· 支持Process Mode/Idle Mode多个模式可选，降低能耗

 

 

 

可维护性、安全性增强

· 部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装

· PLC安全互锁系统，烟感、漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行

 

 

 

高利用效率

· 高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体

· 较小的占地面积

 

 

 

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