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单腔燃烧水洗式产品系列 Burn Wet Type-Single System
型号:Kylin BW系列
适用制程
· 适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF),以及光伏、面板、LED行业
全新系统设计
· 采用燃烧水洗式结构设计,多进口可支持多个工艺腔体连接
· 气体处理量400slm/800slm,CDA与O2版本满足不同气体处理量需求
燃烧反应腔
· 火焰系统防风设计保证火焰燃烧稳定
· 支持Process Mode/Idle Mode多个模式可选,降低能耗
可维护性、安全性增强
· 部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装
· PLC安全互锁系统,烟感、漏液侦测等传感器的使用,保证设备安全运行
高利用效率
· 高流量以及多进口设计,可以连接多个工艺腔体
· 较小的占地面积
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