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等离子水洗式产品系列 Plasma Wet Type
型号:Kylin PW系列
适用制程
· 适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF),以及光伏、面板 、LED行业
· 对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越
全新系统设计
· 等离子弧火焰超过3000℃,可以高效处理PFC气体
· 低耗电量,等离子电源能耗可根据应用制程进行调节
可供选择的功能模块
· 循环水冷却模块,降低新水消耗
· 粉尘自清洁模块,预防粉尘堵塞
· 氮氧化物处理模块,实现氮氧化物排放可控
可维护性、安全性增强
· PLC安全互锁系统,烟感、漏液侦测等传感器的使用,保证设备安全运行
· 部件模块化设备便于拆装维护
高利用效率
· 高流量以及多进口设计,可以连接多个工艺腔体
· 较小的占地面积
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