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等离子水洗式产品系列 Plasma Wet Type

型号：Kylin PW系列

 

 

适用制程

· 适用于半导体制程（CVD/PVD/ETCH/DIFF），以及光伏、面板  、LED行业

· 对全氟化碳（PFC）气体处理的效果卓越

 

 

 

全新系统设计

· 等离子弧火焰超过3000℃，可以高效处理PFC气体

· 低耗电量，等离子电源能耗可根据应用制程进行调节

 

 

 

可供选择的功能模块

· 循环水冷却模块，降低新水消耗

· 粉尘自清洁模块，预防粉尘堵塞

· 氮氧化物处理模块，实现氮氧化物排放可控

 

 

 

可维护性、安全性增强

· PLC安全互锁系统，烟感、漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行

· 部件模块化设备便于拆装维护

 

 

 

高利用效率

· 高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体

· 较小的占地面积

 

 

 

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