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等离子水洗式 机台产品概观

型号：Kylin PW1000

 

 

适用制程

• 适用于半导体制程（CVD/PVD/ETCH/DIFF）和面板行业

• 对全氟化碳（PFC）气体处理的效果卓越

 

全新系统设计

• 等离子弧火焰超过3000℃，可以高效处理PFC气体

• 低耗电量，等离子电源能耗可根据应用制程进行调节

 

Plasma反应腔

• 耐腐蚀材料应用提高了部件的使用寿命

• 反应腔采用水冷

 

可维护性、安全性增强

• PLC安全互锁系统

• 烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行

• 部件模块化设备便于拆装维护

 

高利用效率

• 高流量以及多进口设计，可以连接多个制程工艺

• 较小的占地面积

 

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