产品介绍

PRODUCTS

VECTOR 机台产品概观

型号:3000(Epi,Poly/Oxide Etch)/ 3500(Metal Etch)/ 6000(Novellus SiNx)


专利技术,低成本的F2处理技术可以有效控制腐蚀

  • 专利技术的射汽法可有效去除有腐蚀性的F2


高可靠性,维护周期延长达3个月

  • 拥有专利技术的进口自动清洗设计防止进口堵塞

  • 很短的平均维修时间(MTTR)<2小时


机台可以高效的处理Etch&Epi制程应用中产生的遇酸和遇水可反应气体

  • 双层填充床水洗涤器可以达到高效的处理效果


客户低经营成本

  • 低耗水0.5加仑/分钟(gpm)

  • 无需燃料,低耗能


增强安全性能

  • 安全箱(可选)

  • 机台连锁装置


应用制程目标

  • Etch(Oxide,Poly&Metal)

  • Epi(ATM或RP)