北京经济技术开发区总工会与开发区科技局联合组织开展2019年度职工创新工作室评选工作,根据专家组综合评审,京仪装备何茂栋博士荣获2019年度职工创新工作室称号。

    何茂栋创新工作室成立于2018年,是以北京京仪自动化装备技术有限公司高级工程师何茂栋博士为领军人。工作室试验区位于京仪装备一层,按照标准化洁净间等级进行设计和装修,配备有专用的仪器设备和工业用电,可以开展产品调试、验证、测试以及FAB现场环境模拟等功能,实验区实施6S标准化管理,防护救护措施和现场环境符合职业健康安全的要求。

    何茂栋博士,中共党员,北京航空航天大学控制工程专业硕士毕业,天津大学先进制造专业博士在读,高级工程师,北京经济技术开发区“新创工程.亦麒麟”科技创新领军人才,2010及2018年分别获中国机械工业科学技术奖三等奖;2011及2018年分别获北京市科学技术奖三等奖;2010年获北京市丰台区科学技术奖一等奖;先后参与国家863项目“直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术研究”、国家科技重大专项2011ZX01006-001子项目“CZ-50高压单晶炉”等项目的设计研发,多次荣获京仪集团、北控集团科技成果奖及荣誉奖。

    何茂栋创新工作室是在半导体集成电路高端装备领域以半导体工艺专用温控装置Chiller为研发目标的科研团队。创新工作室共有成员16名,其中博士2人,研究生4人,本科7人,大专3人,具有高级工程师职称3人、工程师职称2人、助理工程师职称2人,技师3人。创新工作室立足于半导体温控领域高端装备的研发与设计,所开发的Chiller系列产品适用于国内外主要半导体工艺设备厂商的产品,覆盖了国内所有的8英寸及12英寸半导体晶圆加工线,该产品的成功开发打破了国外厂家的技术垄断,并实现了批量生产应用,技术达到国际先进水平。

    创新工作室所开发的半导体专用温控装置Chiller,采用先进的预测控制算法、模糊PID控制算法、自适应控制算法对温度进行精密控制,控制技术属于国际领先水平。2019年创新工作室研制半导体生产线专用温控装置系统(Chiller)申报北京市高新技术成果转化项目并获得受理。


创新工作室-荣誉、资质名录

创新工作室2018年参加天津大学学术会议及2018亚洲制冷与空调国际会议,发表论文2篇;

创新工作室已授权专利12项,发明专利实审中7项,专利局受理中6项;

软件著作权7项;

“半导体专用温控设备”2018年获京仪集团科技成果奖一等奖;

“半导体生产线专用温控系统装置Chiller”2018年获中国机械工业科学技术奖,三等奖;

“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用”2018年获北京市科学技术进步奖,三等奖;

2018年北京市企业管理现代化创新成果奖二等奖;

2018年,获北京经济技术开发区“新创工程.亦麒麟”科技创新领军人才;

“半导体专用温控设备”,2018年,获京仪集团科技成果奖一等奖;

“半导体专用水冷机组”,2014年,获北京控股集团“工人先锋号”;

2015年,获北京京仪集团先进生产工作者;

2015年,获北京自动化技术研究院先进生产工作者。


    何茂栋创新工作室将秉承京仪装备“致力成为国内集成电路制造行业最具价值的设备和服务供应商”的宗旨,加快推进技术创新、产品创新,不断提升核心竞争力,让“中国人自己的半导体附属设备”走向世界。


2019年12月10日

热烈祝贺京仪装备何茂栋博士荣获北京经济技术开发区职工创新工作室称号

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