2019年3月15日,广州粤芯半导体技术有限公司举办设备搬入仪式,此次京仪装备半导体专用温控装置单双通道各系列产品CHILLER产品正式进入广州粤芯半导体技术有限公司。

广州粤芯半导体技术有限公司于2017年12月在广州开发区中新知识城设立,是国内第一座以虚拟IDM (Virtual IDM) 为营运策略的12英寸芯片厂,也是广州第一条12英寸芯片生产线。聚合美国、新加坡、台湾及国内的优秀技术管理团队,粤芯半导体以细分化、差异化、订制化的营运定位,联合芯片设计、封装测试、终端应用、产业基金等资源,为广州链结半导体产业跨出第一步(摘自粤芯官网)。


京仪装备半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备; 研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。



2019年03月15日

热烈祝贺京仪装备CHILLER进入广州粤芯半导体

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