2019年3月1日上午9时,北京市科学技术奖励大会暨2019年全国科技创新中心建设工作会议在北京会议中心召开。市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁参加会议。会议围绕科学技术成果服务创新型国家建设,面向国际前沿热点领域,支撑经济高质量发展,全面提升了全国科技创新中心的引领性和影响力。

  京仪装备“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用” 项目荣获2018年度北京市科学技术奖三等奖。会上市领导为获奖单位颁奖,对科技工作者为首都科技事业发展作出的贡献致以了崇高敬意和热烈祝贺。

 半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。

    作为北京市高精尖产业的一份子,京仪装备技术研发团队始终秉承工匠精神,坚持自主创新,精益求精,打破国外垄断,积极推进国家半导体事业的发展,为增强北京在全球科技竞争中的影响力和话语权贡献出一份力量。



2019年03月01日

京仪装备荣获|2018年度北京市科学技术奖三等奖

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