产品介绍

PRODUCTS

MARATHON 机台产品概观

型号:8500/8600


低购置成本/经营成本

  • 高流量以及1-6个进口设计-可以连接多个工艺机台,并且可以作为备用机台使用,为客户缩减购置成本

  • “按需”-根据制程类型调节洁净干燥空气(CDA)和燃料的用量

  • 拥有专利技术设计的OEM模块可以调节并丰富空气中的氧气浓度,因此客户无需购买氧气(O2

  • 较小的占地面积更加容易进行维修



延长维护周期至6个月以上

  • 拥有专利技术设计的N2套管(N2-Sleeve)入口设计

  • 拥有专利的腔室粉尘管理技术(Chamber Particle Management Technologies)



对全氟化碳(PFC)处理的卓越效果

(CF4处理效果≥99%)达到了“绿色环保”计划的要求应用制程目标

  • AMAT RP Epi:通过延长维护周期为客户降低了购置成本/经营成本

  • 热处理(Furnace):高流量机台有备用功能

  • 对蚀刻(Etch)产生的PFC的处理效果可以达到99%


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