产品介绍

PRODUCTS

等离子水洗式 机台产品概观

型号:Kylin PW1000


对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越

  • 等离子弧火焰超过3000℃,可以高效处理PFC气体



客户的低运营成本

  • 低耗电量,等离子电源能耗可根据应用制程进行调节

  • 更小的占地面积

  • 耐腐蚀材料提高了部件的使用寿命



维护操作便捷

  • 部件模块化设计便于拆装

  • 水箱上侧可视窗口设计便于维护与观察状态


应用气体



气体类型举例说明
PFC气体
CF4,C2F6,C4F8
有毒气体PH3,BCl3
水溶性气体

Cl2,F2,HCl,NH3...

易燃性气体H2...
含Si气体SiH4,DCS,TEOS...
其他...



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