产品介绍

PRODUCTS

晶圆传片机

Wafer Sorter Products


全自动8/12英寸晶圆传片机,主要用于晶圆的传送、定位和排序。


产品特点:

  • 独立自主知识产权的直线型单臂机械手,具有高可靠性、高稳定性。

  • 设备配有高效FFU,采用全封闭结构,可发挥超洁净性能,其洁净度达Class1。

  • 可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。

  • 配备高精度CCD传感器及图像处理软件,可对晶圆ID刻号进行识别与读取;

  • 可依据客户需求,非标定制。

 

产品型号及配置命名:

 

 

产品图片:

 

 

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