产品介绍

PRODUCTS

GUARDIAN 机台产品概观

型号:GS4(落地式或悬挂式) GS8(仅落地式)


出色的可靠性—正常运行时间>99%

  • 无更换部件情况下,平均故障间隔时间>12个月

  • 只需简单的维护且最长修理时间<1小时


低使用成本

  • 燃料可选CH4或H2

  • 无需使用水

  • GS4悬挂是没有占地面积


安全性能加强

  • 拥有专利技术的防回火装置

  • PLC连锁控制


应用制程目标

  • 热处理(Furnace)/扩散(Diffusion)

  • 硅烷(Silane)/气体柜(Gas Cabinet)

  • 可作为备用机台使用

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