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半导体专用温控设备系列产品

CHILLER PRODUCTS

     

     半导体专用温控设备（Chiller）利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理，通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。依据不同工艺制程要求，控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内的电极或其壁面，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。

 

 

产品特点：

● 运行温控精度最高可达到±0.5℃，空载温控精度最高可达到±0.05℃；

● 创造性通过两级复叠制冷技术实现-70℃低温温控；

● 通过创新循环容器设计，能够兼顾液位及气压平衡，满足先进制程温度切换及混合控温；

● 采用模块化设计思路，对核心控制程序进行模块化封装，形成独特的控制子程序，人机界面采用可视化操作方式。

 

 

应用领域：

 

  半导体；医疗制药；LED/LCD；食品加工；航空航天；装备制造等。

 

产品图片：