产品介绍

PRODUCTS

半导体专用温控装置系列产品

CHILLER PRODUCTS


半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备; 研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了chiller的稳定性、控制精度和响应速度。


产品特点:http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

  • 加载情况下控温精度优于±0.3℃,可在-20℃~90℃任意工况切换,具有良好的温度跟随性;

  • 采用先进的节能技术,利用变频器实现压缩机和水泵的节能减耗;http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif

  • 设备具有故障、性能自诊断功能,并可实现远程诊断及维修;http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

  • 先进的密封技术,减少循环液的泄漏及挥发;http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

  • 符合SEMI标准和CE标准,可根据客户需求定制产品;


应用领域:


半导体、LCD、LED

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